پیوند: https://pvd.ir

سیستم تبخیر حرارتی رومیزی مدل DTT
دستگاه تبخیر حرارتی در خلاء با ابعاد بسیار مناسب در مدل رومیزی قادر است در طی کمتر از 10 دقیقه  به فشار مورد نظر رسیده و عملیات لایه نشانی را از سه بوته یا بسکت مختلف شروع کند و اقدام به ساخت انواع لایه های مختلف نماید. قابلیت لایه نشانی از سه منبع تبخیر به صورت همزمان، امکان ایجاد لایه های آلیاژی توسط این دستگاه را فراهم آورده است. 
DTT با دارا بودن امکان انتخاب سه منبع تبخیر (بوته – بسکت) مورد نظر در حین لایه نشانی، دارای قابلیت ساخت چند چندلایه ای می باشد.

 مشخصات دستگاه

•    پمپ توربو مولکولار خلاء بالا 90 l/s (آلمانی)
•    پمپ پشتیبان دیافراگمی ( آلمانی)
•    فشار سنج ترکیبی پیرانی و پنینگ ( آلمانی)
•    قابلیت نصب سه boat، سبد و سیم پیچ
•    فید تروهای الکتریکی جریان بالا
•   ضخامت سنج کریستال کوارتز با دقت اندازه گیری یک نانومتر شامل اسیلاتور و نگهدارنده کریستال با قابلیت اندازه گیری ضخامت در حین لایه نشانی.
•    یک سال گارانتی کامل

...

کاربردها
•    ساخت لایه های نازک رسانای الکتریسیته، 
•    رساناهای شفاف (لایه بسیار نازکی که نور می تواند از آن بگذرد) 
•    لایه های نازک عایق الکتریکی،
•    لایه های نوری و چند لایه ای های اپتیکی 
•    لایه های نازک کنترل کننده حرارت، 
•    ادوات الکتریکی و مغناطیسی 

منابع تبخیر (بسکت، boat، سیم پیچ)

دستگاه لایه نشانی در خلاء به روش تبخیر حرارتی مدل DTT، دارای قابلیت نصب سه منبع تبخیر مستقل می باشد. این منایع به صورتی طراحی شده اند که یکدیگر را آلوده نمی کنند.

محفظه خلاء شیشه ای عاری از هر گونه آلودگی
محفظه خلاء دستگاه شامل یک مخزن استوانه ای از جنس پیرکس و مقاوم در برابر حرارت به قطر  mm 300 و ارتفاع  mm 200 همراه با اورینگهای ال شکل می باشد. پمپ توربومولکولار آلمانی این سیستم که در نوع خود یکی از با کیفیت ترینهای موجود در دنیا است با سرعت قابل کنترل 90 هزار دور در دقیقه بر خلاف دستگاههایی که از دیفیوژن پمپ استفاده میکنند محیطی بسیار تمیز و عاری از هرگونه روغن و آلودگی ایجاد میکند که برای ساخت لایه های با دقت و حساسیت بالا بسیار حائز اهمیت است. 

صفحه نمایش رنگی

دستگاه مجهز به یک مانیتور لمسی 7 اینچی تمام رنگی می باشد که تمام فرایندهای کنترل دستگاه از طریق آن انجام می شود. با توجه به کاربری ساده نرم افزار سیستم، کاربر می تواند اطالاعات لازم را به راحتی و از طریق این صفحه نمایش وارد کند و یا اطلاعات مربوط به فرایند لایه نشانی (فشار، ضخامت، نرخ لایه نشانی و …) را در حین فرایند به صورت نمودار و یا دیتا مشاهده نماید. همچنین دستگاه توانایی ثبت اطلاعات مربوط به 300 لایه نشانی آخر را دارا می باشد. 
کاربر می تواند از طریق این صفحه نمایش، فرایند لایه نشانی را بر اساس ضخامت یا زمان تنظیم کرده و پس از رسیدن به زمان یا ضخامت مورد نظر عملیات لایه نشانی به صورت خودکار متوقف می شود.

نگهدارنده نمونه نگهدارنده نمونه نصب شده روی DTT قابلیت لایه نشانی زیر لایه هایی با اشکال مختلف را فراهم می آورد. علاوه بر این و با توجه به دامنه کاربرد گسترده این دستگاه در حوزه های مختلف علمی، ابعاد و شکل نگهدارنده زیر لایه با توجه به نیاز خریدار قابل تغییر می باشد.

سایر ویژگی های دستگاه
•    منبع تغذیه جریان بالا KW 5/2 با قابلیت نمایش ولتاژ ، جریان و کنترل آنها
•    خلاء نهایی 8 × 10-6 torr
•    تنظیم زمان و یا ضخامت فرایند لایه نشانی به صورت دستی و خودکار
•    شاتر الکترونیکی
•    نگهدارنده زیرلایه با قابلیت چرخش
•    کنترل خودکار توان لایه نشانی به صورت مستقل از فشار
•    قابلیت ورود سریع داده ها  با استفاده از کنترل لمسی و تمام خودکار
•    رسم منحنی های فشار و ضخامت
•    انتقال منحنی ها و داده های فرآیند لایه نشانی بوسیله ی USB به کامپیوتر
•    وزن: حدودا 60 کیلوگرم
•    ابعاد: قطر 50سانتی متر × عرض 65 سانتی متر ×  ارتفاع 60 سانتی متر

 
تجهیزات اضافه و لوازم جانبی
دستگاه دارای لوازم جانبی مانند چرخاننده زیرلایه، شیشه یدک، کریستال کوارتز، بسکت، Boat و هیتر تحت خلاء می باشد.

Sputter coater, Desk sputter coater, Tabletop sputter coater, Electron beam evaporation, Thermal evaporation.